中国薄膜沉积设备行业发展趋势及前景战略预测报告2022

中国薄膜沉积设备行业发展趋势及前景战略预测报告2022-2028年版

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【修订】：2022年10月

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章　薄膜沉积设备行业相关概述1.1　半导体设备行业相关概念1.1.1　行业基本概念1.1.2　行业主要分类1.1.3　投资价值占比1.2 薄膜沉积设备行业基本介绍1.2.1　行业基本概念1.2.2　行业主要类别1.2.3　设备技术对比第二章　2020-2022年半导体设备行业发展综合分析2.1　2020-2022年全球半导体设备行业发展状况2.1.1　市场规模状况2.1.2　市场区域分布2.1.3　市场产品结构2.1.4　企业竞争格局2.1.5　行业投资状况2.2　2020-2022年中国半导体设备行业发展分析2.2.1　市场规模状况2.2.2　国产化率情况2.2.3　企业产品布局2.2.4　企业营收排名2.2.5　对外贸易状况2.3　中国半导体设备行业上市公司财务状况2.3.1　上市公司规模2.3.2　上市公司分布2.3.3　经营状况分析2.3.4　盈利能力分析2.3.5　营运能力分析2.3.6　成长能力分析2.3.7　现金流量分析2.4　中国半导体设备行业发展展望2.4.1　行业发展路径2.4.2　市场需求潜力2.4.3　行业发展前景第三章　2020-2022年中国薄膜沉积设备行业发展环境分析3.1　政策环境3.1.1　行业监管主体部门3.1.2　行业相关发展政策3.1.3　企业税收优惠政策3.1.4　产业投资基金支持3.2　经济环境3.2.1　世界经济形势分析3.2.2　国内宏观经济概况3.2.3　工业经济运行情况3.2.4　固定资产投资状况3.2.5　国内宏观经济展望3.3　社会环境3.3.1　数字经济发展基础3.3.2　电子信息产业运行3.3.3　科技研发投入状况3.3.4　技术人才培养情况第四章　2020-2022年薄膜沉积设备行业发展综合分析4.1　2020-2022年全球薄膜沉积设备行业发展状况4.1.1　全球市场规模4.1.2　全球市场结构4.1.3　全球竞争格局4.2　2020-2022年中国薄膜沉积设备行业发展状况4.2.1　国内主要厂商4.2.2　国内中标情况4.2.3　国产化率情况4.2.4　国内需求分析4.3　2020-2022年CVD设备行业发展分析4.3.1　行业基本概念4.3.2　产业链条结构4.3.3　市场规模状况4.3.4　市场结构占比4.3.5　市场竞争格局4.3.6　细分市场格局4.4　2020-2022年PVD设备行业发展分析4.4.1　行业基本概念4.4.2　工艺类型对比4.4.3　产业链条分析4.4.4　行业产值规模4.4.5　市场规模状况4.4.6　市场区域结构4.4.7　市场竞争格局第五章　薄膜沉积设备行业相关技术发展分析5.1　物理气相沉积技术发展分析5.1.1　技术基本简介5.1.2　技术基本分类5.1.3　技术研究进展5.1.4　技术应用状况5.1.5　未来发展展望5.2　化学气相沉积技术研究与应用进展5.2.1　化学气相沉积技术原理5.2.2　先进集成电路工艺应用5.2.3　其他领域技术应用状况5.3　原子层沉积技术发展分析5.3.1　技术基本原理5.3.2　技术发展优点5.3.3　关键技术分析5.3.4　技术应用状况第六章　2020-2022年中国薄膜沉积设备行业相关进出口数据分析6.1　2020-2022年中国制造半导体器件或IC的化学气相沉积装置进出口数据分析6.1.1　进出口总量数据分析6.1.2　主要贸易国进出口情况分析6.1.3　主要省市进出口情况分析6.2　2020-2022年中国制造半导体器件或IC的物理气相沉积装置进出口数据分析6.2.1　进出口总量数据分析6.2.2　主要贸易国进出口情况分析6.2.3　主要省市进出口情况分析6.3　2020-2022年中国制造半导体器件或IC的物理气相沉积装置进出口数据分析6.3.1　进出口总量数据分析6.3.2　主要贸易国进出口情况分析6.3.3　主要省市进出口情况分析第七章　2020-2022年薄膜沉积设备主要应用领域发展综合分析7.1　集成电路领域7.1.1　集成电路产业销售规模7.1.2　集成电路产量规模分析7.1.3　集成电路产业结构分布7.1.4　集成电路企业注册数量7.1.5　集成电路产业贸易状况7.1.6　薄膜沉积设备应用前景7.2　光伏电池领域7.2.1　光伏电池产业发展背景7.2.2　光伏电池行业基本概述7.2.3　光伏电池行业产量规模7.2.4　光伏电池转换效率变化7.2.5　光伏电池技术路线占比7.2.6　光伏电池企业数量规模7.2.7　薄膜沉积设备应用情况7.2.8　薄膜沉积设备发展前景7.3　新型显示领域7.3.1 新型显示产业支持政策7.3.2　新型显示主要技术对比7.3.3　新型显示产业营业收入7.3.4　新型显示细分市场发展7.3.5 新型显示未来发展趋势7.3.6　薄膜沉积设备应用前景7.4　先进封装领域7.4.1　先进封装产业发展背景7.4.2　先进封装行业基本概述7.4.3　先进封装行业发展历程7.4.4　先进封装市场规模状况7.4.5　先进封装行业所需设备7.4.6　先进封装技术发展展望7.4.7　薄膜沉积设备应用前景第八章　2020-2022年国外薄膜沉积设备行业重点企业经营状况分析8.1　应用材料（AMAT）8.1.1　企业发展概况8.1.2　沉积设备布局8.1.3　2020年企业经营状况分析8.1.4　2021年企业经营状况分析8.1.5　2022年企业经营状况分析8.2　泛林半导体（Lam）8.2.1　企业发展概况8.2.2　沉积设备布局8.2.3　2020年企业经营状况分析8.2.4　2021年企业经营状况分析8.2.5　2022年企业经营状况分析8.3　东京电子（TEL）8.3.1　企业发展概况8.3.2　沉积设备布局8.3.3　2020年企业经营状况分析8.3.4　2021年企业经营状况分析8.3.5　2022年企业经营状况分析8.4　先晶半导体（ASMI）8.4.1　企业发展概况8.4.2　沉积设备布局8.4.3　2020年企业经营状况分析8.4.4　2021年企业经营状况分析8.4.5　2022年企业经营状况分析第九章　2019-2022年中国薄膜沉积设备行业重点企业经营状况分析9.1　北方华创科技集团股份有限公司9.1.1　企业发展概况9.1.2　企业业务状况9.1.3　沉积设备布局9.1.4　经营效益分析9.1.5　业务经营分析9.1.6　财务状况分析9.1.7　核心竞争力分析9.1.8　公司发展战略9.1.9　未来前景展望9.2　拓荆科技股份有限公司9.2.1　企业发展概况9.2.2　沉积设备布局9.2.3　经营效益分析9.2.4　业务经营分析9.2.5　财务状况分析9.2.6　核心竞争力分析9.2.7　公司发展战略9.2.8　未来前景展望9.3　中微半导体设备（上海）股份有限公司9.3.1　企业发展概况9.3.2　沉积设备布局9.3.3　经营效益分析9.3.4　业务经营分析9.3.5　财务状况分析9.3.6　核心竞争力分析9.3.7　公司发展战略9.3.8　未来前景展望9.4　盛美半导体设备（上海）股份有限公司9.4.1　企业发展概况9.4.2　沉积设备布局9.4.3　经营效益分析9.4.4　业务经营分析9.4.5　财务状况分析9.4.6　核心竞争力分析9.4.7　公司发展战略9.4.8　未来前景展望9.5　江苏微导纳米科技股份有限公司9.5.1　企业发展概况9.5.2　主要产品情况9.5.3　竞争优劣势分析9.5.4　业务布局状况9.5.5　企业发展动态9.5.6　未来发展战略第十章　中国薄膜沉积设备行业典型项目投资建设深度解析10.1　高端半导体设备扩产项目10.1.1　项目基本概况10.1.2　项目投资必要性10.1.3　项目投资可行性10.1.4　项目投资概算10.1.5　项目建设安排10.2　先进半导体设备的技术研发与改进项目10.2.1　项目基本概况10.2.2　项目投资目的10.2.3　项目投资概算10.2.4　项目建设安排10.2.5　项目选址情况10.3　ALD设备研发与产业化项目10.3.1　项目基本概况10.3.2　项目投资目的10.3.3　项目投资概算10.3.4　项目建设安排10.3.5　项目选址情况10.4　基于原子层沉积技术的半导体配套设备扩产升级项目10.4.1　项目基本概况10.4.2　项目投资必要性10.4.3　项目投资可行性10.4.4　项目投资概算10.4.5　项目进度安排10.5　基于原子层沉积技术的光伏及柔性电子设备扩产升级项目10.5.1　项目基本概况10.5.2　项目投资目的10.5.3　项目投资概算10.5.4　项目进度安排10.5.5　项目选址情况第十一章　2022-2028年中国薄膜沉积设备行业投资分析及前景预测11.1　中国薄膜沉积设备行业投资分析11.1.1　行业投资机会11.1.2　企业上市情况11.1.3　行业投资壁垒11.1.4　行业投资风险11.1.5　企业投资策略11.2　中国薄膜沉积设备行业发展前景分析11.2.1　行业发展机遇11.2.2　未来发展方向11.2.3　行业发展趋势11.3　 对2022-2028年中国薄膜沉积设备行业预测分析11.3.1　2022-2028年中国薄膜沉积设备行业影响因素分析11.3.2　2022-2028年全球薄膜沉积设备市场规模预测11.3.3　2022-2028年中国CVD设备市场规模预测

图表目录

图表　集成电路产业链图表　集成电路前道制造工艺流程主要设备图表　主要半导体设备分类示意图图表 半导体设备投资占比情况图表　薄膜沉积设备分类图表　PVD、CVD、ALD薄膜沉积效果示意图图表　PVD、CVD、ALD技术优劣势及主要应用领域图表　2015-2021年全球半导体设备市场规模及增长率图表　2021年全球半导体设备主要国家销售额分布图表　2021年全球半导体设备细分类型结构占比图表　全球半导体设备代表性企业图表　2021年全球前十五大半导体设备厂商图表　2017-2022年全球半导体设备行业投资状况图表　2015-2021年中国半导体设备市场规模及增长率图表　2021年中国半导体设备国产化占比情况图表　2020年中国半导体设备与原材料国产化率图表　国内半导体设备企业产品布局图表　2021年国内上市公司半导体设备业务营收排名Top10图表　2017-2021年中国主要半导体设备进口额图表　2022年中国半导体设备贸易伙伴排名图表　半导体设备行业上市公司名单图表　2017-2021年半导体设备行业上市公司资产规模及结构图表　半导体设备行业上市公司上市板分布情况图表　半导体设备行业上市公司地域分布情况图表　2017-2021年半导体设备行业上市公司营业收入及增长率图表　2017-2021年半导体设备行业上市公司净利润及增长率图表　2017-2021年半导体设备行业上市公司毛利率与净利率图表　2017-2021年半导体设备行业上市公司营运能力指标图表　2021-2022年半导体设备行业上市公司营运能力指标图表　2017-2021年半导体设备行业上市公司成长能力指标图表　2021-2022年半导体设备行业上市公司成长能力指标图表　2017-2021年半导体设备行业上市公司销售商品收到的现金占比图表　2020-2022年中国薄膜沉积设备行业相关政策汇总图表　一期大基金投资各领域份额占比图表　国家集成电路产业基金二期出资方（一）图表　国家集成电路产业基金二期出资方（二）图表　国家集成电路产业投资基金二期投资方向图表　大基金一期与大基金二期对比图表　2017-2021年国内生产总值及其增长速度图表　2017-2021年三次产业增加值占国内生产总值比重图表　2022年二季度和上半年GDP初步核算数据图表　2017-2022年GDP同比增长速度图表　2017-2021年全部工业增加值及其增长速度图表　2021年主要工业产品产量及其增长速度图表　2021-2022年规模以上工业增加值同比增长速度图表　2022年规模以上工业生产主要数据图表　2021年三次产业投资占固定资产投资比重（不含农户）图表　2021年分行业固定资产投资（不含农户）增长速度图表　2021年固定资产投资新增主要生产与运营能力图表　2021年房地产开发和销售主要指标及其增长速度图表　2021-2022年固定资产投资（不含农户）月度同比增速图表　2022年固定资产投资（不含农户）主要数据图表　2021-2022年电子信息制造业和工业增加值累计增速图表　2021-2022年电子信息制造业和工业出口交货值累计增速图表　2021-2022年电子信息制造业营业收入、利润总额累计增速图表　2021-2022年电子信息制造业和工业固定资产投资累计增速图表　2017-2021年研究与试验发展（R&D）经费支出及其增长速度图表　2021年专利授权和有效专利情况图表　2020年中国直接从事集成电路产业人员规模图表　2017-2021年全球半导体薄膜沉积设备市场规模图表　2020年全球各类薄膜沉积设备市场结构图表　2020年全球薄膜沉积设备竞争格局图表　国内主要厂商薄膜沉积设备布局情况图表　2020-2021年中国晶圆厂薄膜沉积设备中标情况图表　2021年中国晶圆厂薄膜沉积设备中标分布图表　2022年薄膜沉积设备中标情况图表　国内主要薄膜沉积设备招标统计图表　不同制程逻辑芯片产线薄膜沉积设备需求量图表　CVD技术发展历程图表　CVD设备分类及特点分析图表　当前主流CVD技术对比图表　CVD设备产业链图表　2018-2024年全球CVD设备市场规模及预测图表　2018-2024年中国CVD设备市场规模及预测图表　2020年全球CVD设备市场结构占比情况图表　2020年全球CVD设备市场竞争格局图表　国内CVD设备厂商对比图表　2020年全球管式CVD竞争格局图表　2020年全球LPCVD竞争格局（单位：%）图表　2020年全球等离子体CVD竞争格局图表　PVD工艺类型图表　PVD产业链图表　2014-2021年中国PVD镀膜材料市场规模及增速图表　2021年中国PVD市场需求结构图表　2014-2021年全球PVD镀膜服务产值规模及增速图表　2014-2021年中国PVD镀膜服务行业产值及增速图表　2014-2021年全球PVD镀膜服务市场规模及增速图表　2014-2021年中国PVD镀膜服务行业产值及增速图表　2021年全球PVD镀膜服务市场区域结构图表　2018-2020年全球PVD竞争格局图表　2020年全球溅射设备竞争格局图表　Zn-Mg合金涂层退火合金化前后试样的SEM形貌图表　EB-PVD设备工作原理图图表　工艺流程图图表　多弧离子镀原理图图表　HDPCVD技术填充浅槽示意图图表　SACVD技术在CMOS逻辑电路ILD介质沉积中的应用图表　FCVD技术用于极端尺寸的微小间隙或者具有复杂轮廓形貌的间隙填充工艺图表　不同生长温度下的Si Ge选择性外延生长速率及Ge组分图表　原子层沉积循环原理图表　原子层沉积反应的适宜温度区间示意图图表　前驱体空间位阻效应对薄膜生长速率影响的示意图图表　目前ALD制备的主要纳米薄膜图表　传统多晶硅栅极/SiO2介质层与HKMG结构对比图图表　存储芯片结构演变（以NAND为例）图表　三元氧化物纳米薄膜图表　2020-2022年中国制造半导体器件或IC的化学气相沉积装置进出口总额图表　2020-2022年中国制造半导体器件或IC的化学气相沉积装置进出口（总额）结构图表　2020-2022年中国制造半导体器件或IC的化学气相沉积装置贸易顺差规模图表　2020-2021年中国制造半导体器件或IC的化学气相沉积装置进口区域分布图表　2020-2021年中国制造半导体器件或IC的化学气相沉积装置进口市场集中度（分国家）图表　2021年主要贸易国制造半导体器件或IC的化学气相沉积装置进口市场情况图表　2022年主要贸易国制造半导体器件或IC的化学气相沉积装置进口市场情况图表　2020-2021年中国制造半导体器件或IC的化学气相沉积装置出口区域分布图表　2020-2021年中国制造半导体器件或IC的化学气相沉积装置出口市场集中度（分国家）图表　2021年主要贸易国制造半导体器件或IC的化学气相沉积装置出口市场情况图表　2022年主要贸易国制造半导体器件或IC的化学气相沉积装置出口市场情况图表　2020-2021年主要省市制造半导体器件或IC的化学气相沉积装置进口市场集中度（分省市）图表　2021年主要省市制造半导体器件或IC的化学气相沉积装置进口情况图表　2022年主要省市制造半导体器件或IC的化学气相沉积装置进口情况图表　2020-2021年中国制造半导体器件或IC的化学气相沉积装置出口市场集中度（分省市）图表　2021年主要省市制造半导体器件或IC的化学气相沉积装置出口情况图表　2022年主要省市制造半导体器件或IC的化学气相沉积装置出口情况图表　2020-2022年中国制造半导体器件或IC的物理气相沉积装置进出口总额图表　2020-2022年中国制造半导体器件或IC的物理气相沉积装置进出口（总额）结构图表　2020-2022年中国制造半导体器件或IC的物理气相沉积装置贸易顺差规模图表　2020-2021年中国制造半导体器件或IC的物理气相沉积装置进口区域分布图表　2020-2021年中国制造半导体器件或IC的物理气相沉积装置进口市场集中度（分国家）图表　2021年主要贸易国制造半导体器件或IC的物理气相沉积装置进口市场情况图表　2022年主要贸易国制造半导体器件或IC的物理气相沉积装置进口市场情况图表　2020-2021年中国制造半导体器件或IC的物理气相沉积装置出口区域分布图表　2020-2021年中国制造半导体器件或IC的物理气相沉积装置出口市场集中度（分国家）图表　2021年主要贸易国制造半导体器件或IC的物理气相沉积装置出口市场情况图表　2022年主要贸易国制造半导体器件或IC的物理气相沉积装置出口市场情况图表　2020-2021年主要省市制造半导体器件或IC的物理气相沉积装置进口市场集中度（分省市）图表　2021年主要省市制造半导体器件或IC的物理气相沉积装置进口情况图表　2022年主要省市制造半导体器件或IC的物理气相沉积装置进口情况图表　2020-2021年中国制造半导体器件或IC的物理气相沉积装置出口市场集中度（分省市）图表　2021年主要省市制造半导体器件或IC的物理气相沉积装置出口情况图表　2022年主要省市制造半导体器件或IC的物理气相沉积装置出口情况图表　2020-2022年中国其他制半导体件或集成电路用薄膜沉积设备进出口总额图表　2020-2022年中国其他制半导体件或集成电路用薄膜沉积设备进出口（总额）结构图表　2020-2022年中国其他制半导体件或集成电路用薄膜沉积设备贸易顺差规模图表　2020-2021年中国其他制半导体件或集成电路用薄膜沉积设备进口区域分布图表　2020-2021年中国其他制半导体件或集成电路用薄膜沉积设备进口市场集中度（分国家）图表　2021年主要贸易国其他制半导体件或集成电路用薄膜沉积设备进口市场情况图表　2022年主要贸易国其他制半导体件或集成电路用薄膜沉积设备进口市场情况图表　2020-2021年中国其他制半导体件或集成电路用薄膜沉积设备出口区域分布图表　2020-2021年中国其他制半导体件或集成电路用薄膜沉积设备出口市场集中度（分国家）图表　2021年主要贸易国其他制半导体件或集成电路用薄膜沉积设备出口市场情况图表　2022年主要贸易国其他制半导体件或集成电路用薄膜沉积设备出口市场情况图表　2020-2021年主要省市其他制半导体件或集成电路用薄膜沉积设备进口市场集中度（分省市）图表　2021年主要省市其他制半导体件或集成电路用薄膜沉积设备进口情况图表　2022年主要省市其他制半导体件或集成电路用薄膜沉积设备进口情况图表　2020-2021年中国其他制半导体件或集成电路用薄膜沉积设备出口市场集中度（分省市）图表　2021年主要省市其他制半导体件或集成电路用薄膜沉积设备出口情况图表　2022年主要省市其他制半导体件或集成电路用薄膜沉积设备出口情况图表　2017-2021年中国集成电路产业销售额及增速图表　2020-2022年中国集成电路产量趋势图图表　2020年全国集成电路产量数据图表　2020年主要省份集成电路占全国产量比重情况图表　2021年全国集成电路产量数据图表　2021年主要省份集成电路占全国产量比重情况图表　2022年全国集成电路产量数据图表　2022年主要省份集成电路占全国产量比重情况图表　2022年集成电路产量集中程度示意图图表　2014-2021年中国集成电路产业结构图表　2016-2021年中国集成电路相关企业注册数量图表　2020-2022年中国集成电路进出口总额图表　2020-2022年中国集成电路进出口（总额）结构图表　2020-2022年中国集成电路贸易顺差规模图表　2020-2021年中国集成电路进口区域分布图表　2020-2021年中国集成电路进口市场集中度（分国家）图表　2021年主要贸易国集成电路进口市场情况图表　2022年主要贸易国集成电路进口市场情况图表　2020-2021年中国集成电路出口区域分布图表　2020-2021年中国集成电路出口市场集中度（分国家）图表　2021年主要贸易国集成电路出口市场情况图表　2022年主要贸易国集成电路出口市场情况图表　2020-2021年主要省市集成电路进口市场集中度（分省市）图表　2021年主要省市集成电路进口情况图表　2022年主要省市集成电路进口情况图表　2020-2021年中国集成电路出口市场集中度（分省市）图表　2021年主要省市集成电路出口情况图表　2022年主要省市集成电路出口情况图表　2016-2021年中国光伏发电累计装机容量图表　2016-2021年中国光伏新增装机容量图表　太阳能光伏电池分类图表　不同衬底类型电池技术和成本参数对比图表　2016-2021年中国电池片产量图表　2021-2030年各种电池技术平均转换效率变化趋势图表　2021年RERC电池片技术市场占比图表　2021-2030年各种电池技术市场占比变化趋势图表　2016-2021年中国光伏电池相关企业注册量图表　TOP Con与PERC电池工艺流程及对应设备图表　LPCVD设备和PECVD设备相关指标对比图表　2019-2022年中国新型显示产业相关政策汇总图表　主要显示技术对比图表　2015-2020年中国新型显示产业营业收入及增速图表　2017-2022年中国LED市场规模预测趋势图图表　2017-2022年中国OLED市场规模统计预测图表　2019-2024年中国Micro 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